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日本归纳研究所使用爱思强体系成功在300mm晶圆上制得石墨烯

来源:http://www.zhyxz.com 责任编辑:ag88环亚 2018-08-12 04:49

  日本归纳研究所使用爱思强体系成功在300mm晶圆上制得石墨烯

  德国爱思强股份有限公司今天宣告,其BM 300体系在日本工业技能归纳研讨所(AIST)成功投入使用。该体系于2011年安装到AIST研讨所设于筑波市的高档无尘室中,并由爱思强的当地效劳支撑团队进行调试。AIST研讨团队的负责人佐藤信太郎(Shintaro Sato)博士在2012年4月10日的美国资料协会春季会议上,发布了试验成长成果。

  “AIST成功在300mm的晶圆上成长出单分子层石墨烯,关于咱们来说是一个重要的里程碑,”爱思强纳米技能设备总监Ken Teo博士表明,“BM 300是技能最为先进的石墨烯出产渠道,具有可以精准地运送前置物质老练的气体运送体系、ARGUS原位晶圆热散布操控、高度均匀的晶圆加热器、自动化处理器等。在300mm的晶圆上完成高度可控且可重复的石墨烯堆积,是进行大规模的晶圆级石墨烯出产的必要过程,并为新一代的半导体设备开发具有一起性质的石墨烯奠定了根底。”

  “AIST成功在300mm的晶圆上成长出单分子层石墨烯,关于咱们来说是一个重要的里程碑,”爱思强纳米技能设备总监Ken Teo博士表明,“BM 300是技能最为先进的石墨烯出产渠道,具有可以精准地运送前置物质老练的气体运送体系、ARGUS原位晶圆热散布操控、高度均匀的晶圆加热器、自动化处理器等。在300mm的晶圆上完成高度可控且可重复的石墨烯堆积,是进行大规模的晶圆级石墨烯出产的必要过程,并为新一代的半导体设备开发具有一起性质的石墨烯奠定了根底。”

  佐藤博士带领AIST的团队将运用该体系堆积出限制层数的高质量石墨烯。这将是制作低电压CMOS FET加工技能的首要过程,使其可以在低于0.3伏的电压下作业。

  该项研讨由世界领先立异科技研制资金方案(Funding Program for World-Leading Innovative R&D on Science and Technology,简称FIRST)出资,该方案旨在鼓舞先进科技研制,以增强日本的世界竞争力,并经过共享研讨成果,为社会和公民的福祉作贡献。FIRST方案经日本政府内阁工作室的归纳科学技能会议于2009年同意,由日本政府内阁工作以及日本学术振兴会一起运营。这次晶圆加工研讨在AIST研讨所协作研讨团队的绿色纳米电子中心(Green NanoELectronics Center)进行,归于FIRST 方案的“绿色纳米电子中心技能研制”项目(中心研讨员:横山直树(Naoki Yokoyama)博士)的一部分。绿色纳米电子中心成立于2010年4月,由来自学术界以及工业界的研讨员组成。

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