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日本开宣布2英寸SCAM晶体 有望提高芯片亮度

来源:http://www.zhyxz.com 责任编辑:ag88环亚 2018-08-12 14:52

  日本开宣布2英寸SCAM晶体 有望提高芯片亮度

  日本福田结晶技能研讨所成功试制出了口径为50mm(2英寸)的ScAlMgO4(SCAM)晶体。想象用于蓝色LED元件及蓝紫色半导体激光器等GaN类发光元件的基板。与制造蓝色LED元件的基板大多运用的蓝宝石比较,SCAM更适合削减GaN类半导体的结晶缺点,因而有望进步发光元件的亮度。据该研讨所介绍,日本东北大学金属资料研讨所松冈隆志教授的研讨小组使用试制品层叠GaN类半导体规划了LED,证明了该资料的有用性。

  SCAM的特点是与GaN的晶格失配度仅1.8%,不容易发生晶格位错这种结晶缺点。尽管曾经业界以为很难制造SCAM晶体,但福田结晶技能研讨所选用CZ法试制成功了2英寸的高质量SCAM晶体。据该研讨所介绍,经过改进晶体成长的条件和晶体成长炉的结构,进步了结晶质量。该研讨所劈开试制出的SCAM晶体,使用X射线衍射法评价了其C面,效果发现其半幅值为12.9秒,结晶质量跟Si的彻底结晶适当。

  别的,该研讨所不必切开和研磨加工工艺,而是使用SCAM晶体块经过劈开加工做成了晶圆。此举可下降晶圆的本钱。使用有机金属化学气相堆积法使GaN薄膜在1040℃下垂直于SCAM晶体的劈开面成长,效果获得了镜面的低位错晶体。这也是一大效果。

  福田结晶技能研讨所往后将设法持续增大SCAM晶体的口径,还将对其进行商业化运作。福田结晶技能研讨所将于2015年春季开端出售2英寸的SCAM基板。

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